“只要许董愿意🎥投资,我们这联合办🞺学的大学就由许董来命名。”
“对,我建议让许董亲自任校长!”
董教授、刘🗵教授等人笑呵呵的跟着补刀,想把这个决策给坐实了。🏘🚛🔁
就在这时,负责光刻机整机联动调试的郝宁教授,朝胡明镇招了招手,“胡总,我们刚才已经模拟运行过一次,这台光刻机的各项参数、性能指标等都正常。咱们是不是该进行下一步的芯片流片工程👄测试?”
按照光刻机本来的调试流程,一定🄹要通过三次模拟实验以后才能开始进行🏵🞚流片测试。但为了赶时间,郝宁教授才会这么询问胡明镇。
胡明镇闻言,稍稍犹豫🕚了片刻。他性格谨慎,从来都不喜欢冒险。但是为了政治任务,只好微微点🖟头,“老郝,我同意执行流片测试程序。”
“好!”
郝宁教授朝负责流片的🕚技术员们一挥手,“立即执行流🖓💏片工程测试程序!”
随着他这一声令下,光刻室里的技术员们顿时都忙碌起来,👚做流片工序的准备工作。
芯片流片非常讲🎥究,仅仅光刻室里就由许多道制程⛦工艺组成。
比🏒🙥🌣如说,蚀刻掩膜片、给掩膜片涂抹🞺光刻胶、清洁激光头、激光头校准对焦等等等等。🕪🌘⚽
这些工序的精度要求都非常高,而且要在无尘状态操作,不得马🛏🛕🜌虎。
不但如此,光刻室的灯光照🎶明、声波、震动波、电磁波、温度、湿度等技术参数都有严格的规定,否则都会影响光刻硅晶圆片的精度,影响流片的成品率。
“老胡,这台设备我们已经测试过很🞺多次,也通过好几次实战,应该没问题。”郝宁🐻教授见胡明镇的目光一直都盯着光刻机工作站的电脑显示屏💯🕘,所以才特意走来宽慰几句。
胡明镇闻言收回目光,朝郝宁教授颔首点头,“我知道这次流片测试应该问题不大。但总是感到有些不踏实。”📛
“是不是就像准备去参加高考一样?”站在他身旁的刘教授说起🛏🛕🜌玩笑话,拿胡明镇开心。
玩笑话虽然是玩笑话,但跟胡明镇此时的心态有点类似。作为搞技术研🜄⛓🙻发的一名专家,🕪🌘⚽每当自己的科研项目接受论证审查时,应该都是这种心态的。
一个半小时以后,梁宋松对这台光刻机再三巡查了一遍,然后朝胡明镇伸出两个大拇指,“报告胡总,全国产第一台krf光刻机已经做好准备,下面要开🜏🁇始执行光刻制程工🝴序,请指示。”
“开始!”
胡明镇猛然一挥手。
“对,我建议让许董亲自任校长!”
董教授、刘🗵教授等人笑呵呵的跟着补刀,想把这个决策给坐实了。🏘🚛🔁
就在这时,负责光刻机整机联动调试的郝宁教授,朝胡明镇招了招手,“胡总,我们刚才已经模拟运行过一次,这台光刻机的各项参数、性能指标等都正常。咱们是不是该进行下一步的芯片流片工程👄测试?”
按照光刻机本来的调试流程,一定🄹要通过三次模拟实验以后才能开始进行🏵🞚流片测试。但为了赶时间,郝宁教授才会这么询问胡明镇。
胡明镇闻言,稍稍犹豫🕚了片刻。他性格谨慎,从来都不喜欢冒险。但是为了政治任务,只好微微点🖟头,“老郝,我同意执行流片测试程序。”
“好!”
郝宁教授朝负责流片的🕚技术员们一挥手,“立即执行流🖓💏片工程测试程序!”
随着他这一声令下,光刻室里的技术员们顿时都忙碌起来,👚做流片工序的准备工作。
芯片流片非常讲🎥究,仅仅光刻室里就由许多道制程⛦工艺组成。
比🏒🙥🌣如说,蚀刻掩膜片、给掩膜片涂抹🞺光刻胶、清洁激光头、激光头校准对焦等等等等。🕪🌘⚽
这些工序的精度要求都非常高,而且要在无尘状态操作,不得马🛏🛕🜌虎。
不但如此,光刻室的灯光照🎶明、声波、震动波、电磁波、温度、湿度等技术参数都有严格的规定,否则都会影响光刻硅晶圆片的精度,影响流片的成品率。
“老胡,这台设备我们已经测试过很🞺多次,也通过好几次实战,应该没问题。”郝宁🐻教授见胡明镇的目光一直都盯着光刻机工作站的电脑显示屏💯🕘,所以才特意走来宽慰几句。
胡明镇闻言收回目光,朝郝宁教授颔首点头,“我知道这次流片测试应该问题不大。但总是感到有些不踏实。”📛
“是不是就像准备去参加高考一样?”站在他身旁的刘教授说起🛏🛕🜌玩笑话,拿胡明镇开心。
玩笑话虽然是玩笑话,但跟胡明镇此时的心态有点类似。作为搞技术研🜄⛓🙻发的一名专家,🕪🌘⚽每当自己的科研项目接受论证审查时,应该都是这种心态的。
一个半小时以后,梁宋松对这台光刻机再三巡查了一遍,然后朝胡明镇伸出两个大拇指,“报告胡总,全国产第一台krf光刻机已经做好准备,下面要开🜏🁇始执行光刻制程工🝴序,请指示。”
“开始!”
胡明镇猛然一挥手。