第109章 失踪的院士(2/4)
于老越是把苏武说的怎么厉害，倒让他产生了一种文人相轻的感觉！
实际上，苏武听了这个问题，心里很坦然，因为李耀华问的问题倒是他过去从事的方向之一，在2009年之前，这个问题一直没能突破。
但苏武那时候，AlScN微声薄膜的制备工业化已经很成熟了，他刚才稍微停顿了一下，似乎从石蕴璞的脸上看到一丝窃喜，故意多停顿了几秒，整理思路回答道；
“在AlScN微声薄膜滤波器的制作过程中，通常需要对薄膜进行两次图形化刻蚀操作，以我的了解，国内现在普遍采用剥离工艺，利用这种技术光刻出图像。
AlScN薄膜生长时，衬底温度会直接升高，而如果时间较长，光刻胶就会因高温碳化无法去除，导致剥离失败。
干法刻蚀的RIE是普通反应离子刻蚀，但因为离子浓度低，刻蚀速度慢，工艺调整空间小，时间一长光刻胶就碳化了。
ICP-RIE刻蚀速度快，是最佳选择，得控制和研究ICP-RIE的刻蚀过程,所以在AlScN压电薄膜图形化中，所以对国内的研究和应用发展来看，要多多研究光刻工艺中的曝光，显影以及固胶工艺参数对图形角度的影响.......”
于老的脸上露出了满意的笑容，不愧是我看中的人，没给我丢脸！
李耀华和其他几个院士都懵了，这小子是个天才吧，这怎么什么都知道？
石蕴璞彻底石化.......
.......
苏武不傻，他也想平凡正常一点，但是重生以来已经一切由不得他了。
李耀华，贺云水对视一眼，也都是不可思议的看着苏武。
于老后边的李天东和吴朝阳两位院士也交头接耳。
于老看了一眼时间，对一旁的李耀华说：
“耀华，你的那个学生、萨日布是不是也要今天来京城，叫他一块过来谈谈嘛。”
李耀华笑着说：“老师，萨日布本来今天上午就应该来的，我给他打电话也没接，不知道怎么回事，我一会再给他打个电话。”
“他去年是不是也评上院士了？”
“是的，还是感谢老师您的力挺。”
“小萨工作做的出色......”
实际上，苏武听了这个问题，心里很坦然，因为李耀华问的问题倒是他过去从事的方向之一，在2009年之前，这个问题一直没能突破。
但苏武那时候，AlScN微声薄膜的制备工业化已经很成熟了，他刚才稍微停顿了一下，似乎从石蕴璞的脸上看到一丝窃喜，故意多停顿了几秒，整理思路回答道；
“在AlScN微声薄膜滤波器的制作过程中，通常需要对薄膜进行两次图形化刻蚀操作，以我的了解，国内现在普遍采用剥离工艺，利用这种技术光刻出图像。
AlScN薄膜生长时，衬底温度会直接升高，而如果时间较长，光刻胶就会因高温碳化无法去除，导致剥离失败。
干法刻蚀的RIE是普通反应离子刻蚀，但因为离子浓度低，刻蚀速度慢，工艺调整空间小，时间一长光刻胶就碳化了。
ICP-RIE刻蚀速度快，是最佳选择，得控制和研究ICP-RIE的刻蚀过程,所以在AlScN压电薄膜图形化中，所以对国内的研究和应用发展来看，要多多研究光刻工艺中的曝光，显影以及固胶工艺参数对图形角度的影响.......”
于老的脸上露出了满意的笑容，不愧是我看中的人，没给我丢脸！
李耀华和其他几个院士都懵了，这小子是个天才吧，这怎么什么都知道？
石蕴璞彻底石化.......
.......
苏武不傻，他也想平凡正常一点，但是重生以来已经一切由不得他了。
李耀华，贺云水对视一眼，也都是不可思议的看着苏武。
于老后边的李天东和吴朝阳两位院士也交头接耳。
于老看了一眼时间，对一旁的李耀华说：
“耀华，你的那个学生、萨日布是不是也要今天来京城，叫他一块过来谈谈嘛。”
李耀华笑着说：“老师，萨日布本来今天上午就应该来的，我给他打电话也没接，不知道怎么回事，我一会再给他打个电话。”
“他去年是不是也评上院士了？”
“是的，还是感谢老师您的力挺。”
“小萨工作做的出色......”